1.设备基本信息
设备型号：VR-5000
生产厂家：日本KEYENCE公司
存放地点：理B118
安装日期：2019.05.13
管理人员：钟卫平
联系方式：wpzhong@cumt.edu.cn
二、设备基本功能
无损化监测粗糙度及微观形貌、纳米级分辨率、兼容各种2D及3D标准。
VR-5000搭载了“全自动设定功能”，完成自动对焦、自动设定测量区域、自动进行测量设定等工作，以消除直接导致测量失败的人为设定失误。从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量，无论是大范围还是细微部位，均可由1台设备完成测量，仪器的测量范围是以往的5倍。
三、设备参数
1）主机X轴行程：184mm
2）主机部分Z轴测量范围：240mm
3）主机X及Z轴定位分辨率：0.1um
4）VR-5200垂直测量范围：0-300um
5）VR-5200工作距离：11mm
